주요개발 연혁
2022년 ~ 2023년 국책과제 관리
| 시행부처/기관 | 국책 과제명 | 주간기관 | 과제기간 |
|---|---|---|---|
| 한국생산기술연구원 | 반도체 금속 홀더 부품 가공 및 검사 공정 협동로봇 자동화 | 주관 | 2021. 05. 01. ~ 2021. 12. 31 |
| 중소벤처기업부 | 가상물리시스템 적용을 위한 시스템 개발 | 참여 | 2021. 11. 19 ~ 2022. 09. 24 |
| 국민대 | 스마트 카트 모니터링 시스템 | 참여 | 2022. 05. 20. ~ 2022.11. 30 |
| 중소벤처기업부 |
시뮬레이션 기반의 비대칭 구조 설계 및 자가 회전 기능을 통해 CVD 동작 최적 온도분포로 세팅할 수 있는 제품 개발 |
주관 | 2023. 04. 01. ~ 2025. 03. 31 |
특허 관리
| No | 권리 | 출원번호 | 출원일자 | 상태 | 명칭 | 출원인 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 특허 | 10-2021-0150252 | 2021.11.04 | 진행중 | 스마트 카트 모니터링 시스템 | 주식회사 에스엠티 | |
| 특허 | 10-2022-0019227 | 2022.02.15 | 진행중 | 유체 분사기의 유체 분사 조절 장치 및 이를 포함하는 화학 증착 장치 | 주식회사 에스엠티 | |
| 특허 | 10-2022-0033455 | 2022.03.17 | 진행중 | 플라즈마 소각장치 | 주식회사 에스엠티 | |
| 특허 | 10-2022-0110755 | 2022.09.01 | 진행중 | 바퀴의 회전각 조정수단이 채용된 스마트 카트 | 주식회사 에스엠티 | |
| 특허 | 10-2022-0110756 | 2022.09.01 | 진행중 | 스마트 카트의 자율주행 및 인공지능 시스템 | 주식회사 에스엠티 | |
| 특허 | 10-2022-0111551 | 2022.09.02 | 진행중 | 가공물 검사가 가능한 스마트 카트 | 주식회사 에스엠티 | |
| 특허 | 10-2022-0125936 | 2022.10.04 | 진행중 | 반도체 설비용 유체관 커넥팅 장치 | 주식회사 에스엠티 | |
| 디자인 | 30-2022-0040489 | 2022.10.04 | 등록 | 운반용 스마트 카트 | 주식회사 에스엠티 | |
| 특허 | 10-2022-0189185 | 2022.12.29 | 진행중 | 반도체 장비 구성 파트의 탭홀 검사장치 | 주식회사 에스엠티 | |
| 특허 | 10-2023-0011214 | 2023.01.27 | 진행중 | 반도체 장비의 웨이퍼 히팅장치 | 주식회사 에스엠티 | |
| 특허 | 10-2023-0076751 | 2023.06.15 | 진행중 | 회전형 웨이퍼 히팅 시스템 | 주식회사 에스엠티 | |
| 특허 | 10-2023-0076752 | 2023.06.15 | 진행중 | 웨이퍼 히팅 시스템 | 주식회사 에스엠티 |